X射線指的是能量很高的電磁波，其波長大小范圍約為0.01~10 nm，屬于電子學和固體物理學領域重要的工具之一。它的波長比可見光短得多，因此可以穿透高密度物質，如金屬、陶瓷等，且具有高吸收率和精細探測能力。
x射線合金分析儀采用的是物質分析原理，通過對樣品進行X射線輻照，利用不同元素在X射線作用下所產生的熒光特征來分析材料中元素成分及含量的儀器設備。當X射線與樣品交互作用并熒光發射時，探測器(如氣體或固態探測器)會檢測到每種元素的特征譜線，并生成光譜圖。儀器內部的計算機會自動處理數據并分析生成結果。這個過程中，需要了解樣品的物理和化學性質，以便評估不同元素之間產生的重疊。同時，標準測試品可用于比較分析結果，校準儀器和確保穩定精度。通常情況下，具有快速分析、高精度度、無實質性損害、省時省力等優點。
每個原子都由一些持續運動的電子和一個核組成，而核心則包含了帶正電的質子和通常沒有電荷的中性子。當一個X射線束穿過一個樣品時，它就會與其所包含的原子數目進行相互作用。具體地講，這個過程發生了三次：首先是經由照射稱之為主要輻射而被散射；然后還有一部分被散射成較低能量的光子，稱之為瑞利散射；還有一部分剩余的光子通過對原子內部電子的作用而被吸收。
當X射線束與物質相互作用時，原子內部的某些外層電子會被激發并躍遷至高能級。此時，這些電子遵循著“電荷守恒”和“自旋軌道”規則退回到基態水平，并釋放出一定的能量量。接著，這些已經荷電的原子(離子)就會引起反應，并重新配對。在形成新的氛圍之前，所有物理過程中都會釋放出輻射，并以熒光X射線光譜的形式呈現。x射線合金分析儀可以根據樣品內所檢測元素的不同種類和含量，在熒光光譜中可以探測出幾種關鍵特征線，如Ka、Kb、La等，它們是由于特定的元素吸收了X射線并通過退火產生的。
